曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。曝光機(jī)是20世紀(jì)60年代初從掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來，70年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)。

　　一、曝光機(jī)工作原理

　　在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物（通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠）進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。

　　二、UV LED曝光機(jī)特點(diǎn)

       1、LED 讓墨水深層固化：LED燈發(fā)出的光波長(zhǎng)是395nm，能夠讓墨水深層固化，因此不會(huì)發(fā)生印品表面已干但底層不干的情況。在各種介質(zhì)上印刷都有很強(qiáng)的黏附性和抗刮劃性。

　　2、 省電節(jié)能，減低成本：LED發(fā)光達(dá)到某種亮度時(shí)所消耗的能量只有15瓦左右，而傳統(tǒng)的燈達(dá)到同樣亮度要消耗1500瓦的能量，即使與UV鹵素?zé)粝啾龋部晒?jié)省80%的能源，因此LED燈非常節(jié)能環(huán)保。

　　3、穩(wěn)定性高：UV噴墨印刷機(jī)的印刷質(zhì)量跟UV干燥固化的過程有莫大關(guān)系，LED燈的穩(wěn)定性使得輸出的能量是可預(yù)見的、穩(wěn)定的，因此印刷效果同樣是可預(yù)見的、穩(wěn)定的。

　　4、 燈源系統(tǒng)保用3年，使用壽命長(zhǎng)：LED燈壽命超過2萬小時(shí)。

　　5、安全性高：LED燈沒有UVC射線，沒有臭氧釋放，也不易破損。

　　6、 更廣泛的應(yīng)用范圍：LED燈的發(fā)光不是紅外線加熱，發(fā)放的熱力較低，因而不會(huì)影響那些容易受熱而變形的介質(zhì)(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷過程中的傳送。這樣，介質(zhì)的應(yīng)用范圍就更加廣泛了。

　　7、反應(yīng)(開關(guān))時(shí)間快：LED燈不需要預(yù)熱，可以開機(jī)后立即印刷，生產(chǎn)力得以提高。

　　三、UV LED曝光機(jī)能量檢測(cè)